柜式工業微波設備半導體生產工藝中已經采用微波等離子體技術，進行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片；還可用于金屬、合金、非金屬的表面處理；用于等離子體光譜分析可檢測十幾種元素。
   微波生物效應分熱效應和非熱效應。其熱效應在方面可進行微波、配合放療和化療進行透熱治癌；另外還可以利用微波加熱血漿、解凍冷藏器官；還可設計微波手術刀，開刀止血快、出血量少。

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